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濕度考慮  (2008/03/26 09:34)

       降低靜電的一個經濟簡便的措施是把相對濕度控制在40%或更高。相當濕度高時,一層薄的導電水層將被吸附在大多數塑膠(吸濕性的)表面上,這有助於防止靜電的產生。然而,在大多數晶片處理設施中,這也是被禁止的。一些光刻膠材料對潮濕是十分敏感的,因為防止靜電產生的這同一個薄水層,同時也影響了光刻膠材的粘結。因此,生產微型器件的區域通常需要低的相對濕度。另外,半導體晶片生產的許多工序需要高溫烘烤,使晶片和載體表面進一步變得乾燥。同時,任何高速流體例如去離子水或空氣(在抽真空條件下)能導致電荷的產生。

因此,很容易看出,半導體生產線上具有產生高的靜電電壓所需要的全部條件。例如,一個穿著尼龍衣服的員工穿著塑膠基底鞋緩慢走過清潔的地板時,在該員工的身上很容易產生7 000~8 000 V的靜電電壓,玻璃纖維製成的晶體載料盒滑過聚丙烯桌面時能容易地產生10 000 V的靜電電壓。下面給出一些晶片裝配線的靜電測量記錄(未採取防靜電措施時):

晶片5KV

晶片裝料盒35KV

空氣軸承系統上覆蓋的耐熱的有機玻璃蓋板8KV

桌面10KV

貯物盒30KV

工作服10KV

石英晶體1.5KV

製造過程考慮  (2008/03/24 08:33)
摘要:           晶片製造過程中許多工序需要使用強化學物質,例如鹽酸、氫氟酸。在晶片生產線上這些腐蝕劑的廣泛使用妨礙了金屬的使用。因此,在晶片加工過程中所遭受的環境幾乎全部是又易於產生靜電的材料組成。另外,為了滿足低塵埃的條件還要求所有表面盡可能的平。並且經常進行清潔。然而,這對防止靜電的產生十分不利...
工业标准  (2008/03/22 10:43)
摘要: 工业标准 ANSIAEEE-STD-142,"IEEE绿皮书(工业和商用电力系统之IEEE推荐的接地实践方法) ANSI/EIA-625,"处理静电放电敏感9ESDS)器件的要求" ANSI/EIA-541,"电子产品的运输包装" ANSI/EIA-583,"湿气敏感对象的包装材料标准" ESD-ADV...
摘要:          ESD防護區和ESD工作臺的設計和結構,應確保在正常工作的所有時間內,電氣測試設備和電動工具的所有外部部件、表面和遮罩件具有共同的地電位。設計時應考慮防護區內可能存在的危害電平和接地失效。在接地的工作臺上具有金屬或其他導電外殼的工具或測試設備,如果允許其接觸工作表面,就能旁路工作臺接地電纜上的接...
靜電  (2008/03/20 09:22)
摘要:          一種處於相對穩定狀態的電荷。它所引起的磁場效應較之電場效應可以忽略不計。靜電現象是借助於表電荷的存在和這些電荷的相互作用來辨別的那類現象,這種相互作用完全因為電荷自身和它們的位置,而不是因為它們的運動。
人體及服裝靜電防護  (2008/03/19 11:02)
摘要: 當氣體爆炸危險場所的等級屬0區或1區,且可燃物的最小點燃能量在0.25mJ以下時,工作人員在穿無靜電點燃危險的工作服。當環境相對濕度保持在50%以上時,可穿棉工作服。在爆炸危險場所工作的人員,應穿防靜電(導電)鞋,以防人體帶電,地面也應配用導電地面。禁止在爆炸危險場所穿脫衣服、帽子或類似物.
摘要:        這種材料不按電阻率分類,當相對摩擦或從相同的或其他類似的材料分離時,只產生少量的靜電電荷。使材料減少靜電產生的主要特性之一是光滑,表面光滑摩擦裏小,產生的電荷也少。表面有吸水性,表面的水份所提供的導電通路能中和相反的電荷,也使靜電產生減少。經表面改性的吸濕性防靜電聚乙烯薄膜等屬於這類材料。
塵埃污染  (2008/03/17 08:45)
摘要:         塵埃可以相當有效地從空氣中被濾除,然而不能從半導體晶片的環境中清除它們。幾乎在晶片製造的每個工序上塵埃是同樣發生的。人體可能是最大的一個塵埃來源,如衣服上掉下來纖維屑、頭髮或死掉的表皮。破碎的晶片是另一個塵埃來源。任何時候一個表面被另一個載體時。塑膠盒打開或關閉時都可能產生塵埃。即使是空氣過濾本身也可能掉下...
塵埃帶電   (2008/03/17 08:29)
摘要: 塵埃不可能從晶片製造中被完全消除。然而,有一個經常被忽略的與塵埃相關的效應。空氣中的大多數塵埃被靜電充電。當塵埃最初脫離它所依附的材料時,這種靜電荷可能產生,或者當它被吹過一個表面時,它可能獲取電荷。 由於縣浮在空氣中的塵埃是移動的並且是多荷電粒子,它將對其遇到的任何靜電場起反應。任何靜電帶電表面都可提供這種靜電場。靜電電壓越高則靜電場越強。充電的塵埃會被具有相同極性的帶電表面所排斥但被...
小心中了骗子的计  (2008/03/05 09:26)
摘要:   小心这样的骗子喔.
摘要:    帶電器件模型的損害主要來源,是能量從一個帶電器件迅速地釋放。靜電放電完全不受器件影響,但器件於地面的距離,卻能影響實際的失效水準。該模型假定,當帶電器件的導電接頭與具有不同電位的金屬表面接觸時,會發生迅速放電。帶電器件模型測試標準的準備過程中的一個主要問題,是如何找到適當儀器測量放電過程。信號波形的上升時間經常是少於200微微秒。整個過程可能發生在少於2.0納秒的時...
機器模型敏感度(MM)  (2008/03/05 09:05)
摘要: 機器模型的損害主要來源,是能量迅速地從一個被充電的導電體傳輸到器件的導電接頭。這個靜電放電模型是200pP電容直接多500nH電感器放電,沒有串聯電阻。由於缺乏限制電流的串聯電阻器,這個模型接近一個電壓源。在現實中,這個模型代表了,物件之間的迅速放電,譬如帶電的電路板裝置,帶電的電線或一個自動測試的傳導手臂。放電本身是具有5~8納秒上升時間和大約80納秒週期的正弦衰減波形。
人體模型敏感度(HBM)  (2008/02/28 09:21)
摘要:        依照由人體模型標準所作的模型,靜電放電損壞來源於帶電的人體。這個測試模型表示,放電從人體的指尖傳到器件上的導電接頭。該模型通過一個開關元件,將充了電的100pP電容器,在待測器件和與之串聯的一個1500歐姆電阻器上放電。放電本身是有2~10納秒上升時間,和大約150納秒脈衝寬度的雙重指數信號波形。使用1500歐姆串聯電...
靜電放電敏感性測試  (2008/02/28 08:42)
摘要: 技術文獻和失效分析資料表明,靜電放電失效是由於一系列的,複雜的,相互關聯的作用。一些影響靜電放電敏感性的因素,包括了靜電放電電流和能量,靜電放電的上升時間,零件設計,製造技術和零件包裝樣式。能量敏感器件的損壞是由於,電流流動雙極連接點,保護電阻器,或金屬氧化物半導體的保護電晶體。電壓敏感器件的損壞是由於,電壓超過了擊穿電壓。電子器件的靜電放電敏感性測試,無論是採用帶電器件模型(CDM),機器...
預防有機溶劑中毒的措施  (2008/02/23 10:47)
摘要: 預防有機溶液職業危害的措施包括通風、排毒等工程技術措施和監測、監護等衛生保健措施。對於作業工人來說,重點是要防止吸入和皮膚污染,及早發現職業性損害。因此,應重點做好如下7點: 1、              要通風:使用有機溶劑的作業場所,應保持良好的通...
潔淨室建築裝飾特點  (2008/02/23 09:16)
摘要:           潔淨室的構造處理和材料選擇應按不同的潔淨度等級、結構形式和室內建築設計的要求進行。除一般的要滿足保溫隔熱、隔音防振等的要求,最重要的關鍵是要保證其氣密性和建築材料表面不發塵、不滯留微粒、不積塵的要求。另外還要注意裝修及人體產生的靜電效應。所有的構造設計要力求簡潔,儘量減少凹凸和不必要...
靜電電位  (2008/02/22 11:42)
摘要:         如無另外規定,EPA內的靜電電位應滿足下列要求,即在任何情況下,在EPA內貯存,使用或接受加工的未帶ESD外防護的ESDS產品周圍300mm空間之內任一物體的靜電電位不得超過該級EPA允許的對地靜電電位值。使用準確度優於±10%的非接觸式靜電伏特計進行測量。
摘要: 這種材料不按電阻率分類,當相對摩擦或從相同的或其他類似的材料分離時,只產生少量的靜電電荷。使材料減少靜電產生的主要特性之一是光滑,表面光滑摩擦力小,產生的電荷也少。表面有吸水性,表面的水分所提供的導電通路能中和相反的電荷,也使靜電產生減少。經表面改性的吸濕性防靜電聚乙烯等屬於這類材料。
防護區  (2008/02/20 09:23)
摘要: 防護區的全稱是“靜電放電防護工作區”,通常防表面工作區(EPA)。EPA是一個配備有各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、  具有確定邊界和專門標記的適於從事靜電防護操作的場所。 EPA應具有為控制或減少靜電電荷(靜電電壓)所需的材料、設備和程式。基本的ESD防護區概念是限制靜電電壓水準達到在該區域內接受操作的最敏感的ESDS產品的損壞電壓閘值以下。EP...
摘要: 防靜電包裝的主要目標,是要防止靜電放電直接發生在所包裝的靜電放電敏感物件上,及將電荷通過外表消散。另外,包裝應該將在靜電放電敏感物件上,因外部靜電場和摩擦生電而產生的電荷減到最小。用戶應該知道,一些包裝材料也會因放氣,污染或帶來微粒,造成與生產相關的問題。重要的是,各單位應從制程,存貯和環境相容性出發,去評估防靜電包裝的材料。
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山不在高,有仙则名。水不在深,有龙则灵。斯是陋室,唯吾德馨。
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阿里创建号:ALI-00202442
创建日期:
2006-01-12 10:11:34
修改日期:
2008-06-02 11:15:31
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